Полимерный фоточувствительный материал. Наносится на пластину в процессе фотолитографии. После засветки лазерным (средним 248 нм, дальним 193 нм или экстремальным УФ) или рентгеновским излучением - экспонирования через фотошаблон, начинается "проявление" - травление для того, чтобы сформировать окна для доступа веществ к поверхности пластины - для травления или легирования. Различают позитивные и негативные фоторезисты, а также обратимые, которые можно преобразовать из позитивных в негативные. Перед нанесением фоторезиста обычно используют подслои для повышения адгезии фоторезиста к поверхности. На фоторезист иногда наносят пленку антиотражающего покрытия. Наносят фоторезисты различными способами: центрифугированием, окунанием или аэрозольным методом.

Используемые типы фоторезистов: G-line; I-line (для зрелых технологий); KrF; ArF (для более современных технологий). Для EUV используются специальные фоторезисты. 

Участники рынка (российские)

Диполь

2022. У компании есть компетенции в темах: Технологии очистки и подготовки подложек перед нанесением фоторезиста плазменная обработка поверхности. Центрифугирование и ультразвуковое спрей-нанесение фоторезиста. Получение равномерного слоя на подложках с отверстиями и образцах сложной формы. 

НИИМЭ

2023.03 НИИМЭ стал победителем конкурса Минпромторга на выполнение НИР "Разработка и освоение производства литографических материалов для микроэлектронного производства". На эти работы НИИМЭ получит 1,1 млрд рублей. Фоторезист должен работать с длиной волны источника 248 нм. Источник

2022 Проходит ОКР по освоению выпуска фоторезистов в России

Ниопик (АО Ниопик)

https://niopik.ru/events/news/ 

2022. АО «НИОПИК» выпускает ряд марок фоторезистов серийно и по спецзаказам, а также осуществляет разработку новых фоторезистов по заказам и в рамках программ по импортозамещению материалов для отечественной электронной промышленности. Производство негативных (ФН-11, ФН-16У) и позитивных фоторезистов (ФП-9120, ФП-2550, ФП-3515-27, ФП-383), проявителей для фоторезистов (ПП-051МС, гидроксида тетраметиламония 20%-25% водный раствор). 

Спецтехнаука (ООО НПК Спецтехнаука), Красноярск

2022. Научно-производственная компания "Спецтехнаука" была создана сотрудниками Сибирского отделения Российской академии наук. Компания нацелена, в первую очередь, на создание российской научно-приборной базы для фундаментальных и прикладных научных исследований. Приоритет компании - производство доступных по цене лабораторных установок взамен дорогостоящего импортного научного оборудования. Цель предприятия - обеспечить научное сообщество российским научным оборудованием по своим техническим характеристикам не уступающие импортным аналогам.
Примеры продуктов: Центрифуга СТН для нанесения тонких пленок и фоторезиста; Центрифуга EZ4 spin coater для нанесения тонких пленок и фоторезиста

Polyketone (ООО "Поликетон"), Нижегородская область

2022.12.23 В Нижегородской области наладят выпуск литографических материалов. Темой занимается предприятие Polyketone (ООО Поликетон) в создаваемой в Нижегородской области "Квантовой долине" (ИНТЦ "Квантовая долина"). 
Чем занимается это предприятие? 
Созданием полимерных пленкообразующих композиций с заданными свойствами для микро- и нанолитографии по проектным нормам от 160 до 10 нм (фоторезисты, антиотражающие покрытия, планаризирующий слой).
Предприятие ставит перед собой задачу замещения импортных фоторезистов, фоторезистами отечественного производства по конкурентным ценам.
Планируется 3 этапа проекта:
Этап 1. Разработка полимерных материалов для критических и некритических слоев многослойной структуры под требования технологического процесса с проектными нормами менее 160 нм.
Этап 2. Получение опытных образцов полимерных композиций, тестирование данных материалов на предприятиях производителях ИС. Оптимизация полимерных композиций в соответствии с требованиями и с целью достижения проектных норм 90-60 нм.
Этап 3. Организация опытного производства исходных полимерных материалов и приготовления готовых полимерных композиций для критических и не-критических слоев литографического процесса с проектными нормами менее 90 нм. Формирование ТУ и описания методик синтеза исходных полимерных компонентов. Отработка методик контроля готовых полимерных композиций согласно требованиям микроэлектронной промышленности.
Поликетон - одна из компаний, отобранных в резиденты создаваемого в Нижегородской области ИНТЦ "Квантовая долина" и готовая инвестировать в создание инфраструктуры ИНТЦ. Земля выделена в 2021 году, 140 тыс кв.м, первые объекты должны появиться в 2026 году. Участников привлекают в ИНТЦ обещанные государством налоговые льготы. Источник: Видео: youtu.be 

 

 

Международный рынок фоторезистов

2022. На долю Топ-5 производителей из Японии и США приходися 85% объемов мирового рынка фоторезистов. Причем для EUV-процессов фоторезисты выпускает только Япония. В категории "другие" также производители с Тайваня и из Европы, Китая. Заметны попытки других стран организовать собственное производство современных фоторезистов. В частности, этим заняты в Китае и Южной Корее. 

 

Беларусь

Стратнанотек, Беларусь

2022. Выпускает установки Р200 для плазмохимического удаления фоторезиста. Их закупал, в частности, НИИЭТ. 

 

Китай

2023

Рынок фоторезистов в Китае - это 8.74 млрд юаней ($1,12 млрд) в 2020 году, примерно 1/7 от общемирового объема. В поставках фоторезистов типа KrF/ArF по прежнему доминируют японские и американские компании, сообщает исследовательское агентство ResearchChina. Китайская брокерская компания Zheshang Securities уверена, что доля местных поставок "устаревших" фоторезистов, таких как G-line и I-line, составляет около 30%. Но в случае фоторезистов KrF местное предложение сокращается до 10%, а в для фоторезистов ArF и EUV - составляет менее 2%. В отчете говорится, что Китаю трудно будет наверстать упущенное, поскольку на рынке страны нет основных компонентов, таких как фоторезист-мономер, смола и фотосенсибилизатор", а также оборудования для тестирования и контроля.    

2022

В Китае активно занимаются попытками наладить местное производство различных фоторезистов. До недавнего времени в Китае могли производить фоторезист только для техпроцессов с нормами 436 и 365нм. С 2022 года освоено производство материалов от 28нм и лучше. Тем не менее, китайские производители все еще закупают фоторезисты у Японии и США. 

Crystal Clear Electronic Material Co 

2023. Поставщик сверхчистых материалов для SMIC

E-Town, Китай

2023. Машины для сухого удаления фоторезиста

 

Nata Opto (Jiangsu Nata Optoelectronic Material Co), Китай, Цзянсу

2022. Компания освоила поивзодство современных фоторезистов для техпроцессов 28нм - 7нм, но к массовому их производству, как ожидается, будет готова не ранее, чем через 3 года. 

США

2022. В США есть компании, которые входят в Топ-5 мировых производителей фоторезистов. 

Тайвань

Eternal Materials, Тайвань

2022. Eternal Materials Ltd, Тайвань, расширяет производство сухих пленочных фоторезистов на заводе в Сучжоу, Китай. Доля Eternal на мировом рынке сухих пленочных фоторезистов в мире - около 34%, при этом 75% произведенного потребляет Китай, 12% - Тайвань, 7% - на Таиланд, 2.6% - на Европу, 1.4% - на Японию и 1.0% - на США.

 

Topco Scientific, Тайвань

2022 Поставляет фоторезисты и суспензии CMP производителям чипов. 

Южная Корея

2022. Столкнувшись с ограничением поставок фоторезиста из Японии, в Южной Корее ряд компаний начали работы по налаживанию местного производства фоторезиста. 

Donjin Semichem, Южная Корея

2022. Компания начала работы по налаживанию местного производства фоторезиста. 

 

Samsung Electronics, Южная Корея

2022. Компания начала работы по налаживанию местного производства фоторезиста. 

 

SK Material Performance, Южная Корея

2022. Компания начала работы по налаживанию местного производства фоторезиста. 

 

Япония

2023. Япония - крупнейший в мире производитель и поставщик фоторезистов. JSR, Tokyo Ohka Kogyo, Shin-Etsu Chemical и Fujifilm Electronics Materials владеют 3/4 мирового рынка высококачественных фоторезистов и почти монополисты в области фоторезистов для EUV-литографии. (ResearchInChina institute, Китай, по итогам 2020 года)

 

Screen Holdings

2023. Устройства для нанесения / проявки фоторезиста 

Fujifilm Electronics Materials 

2022. Производство фоторезистов.

JSR Corp. 

2022. Производство фоторезистов.

 

Shin Etsu Chemical Co.  

2022. Производство фоторезистов.

 

Tokio Ohka Kogyo Co.

2022. Производство фоторезистов.

 

 

Tokyo Electron 

2023. Устройства для нанесения / проявки фоторезиста

----

Новости

2023.03.06 Минпромторг заказал НИР "Разработка и освоение производства литографических материалов для микроэлектронного производства", узнали в CNews. Бюджет проекта - 1,1 млрд руб. Шифр проекта "Фотолиз". Потенциальные потребители заработанных материалов в документе значатся АО "Микрон" и ООО "НМ-Тех". Срок исполнения НИР - до 12 декабря 2025 года. Материалы должны позволять использование лазерного излучения 248 нм.
Стоит задача освоения производства фоторезистов марок ФР248-01, ФР248-02, ФР248-03, ФР248-04, ФР248-05 и антиотражающих покрытий ПА248-01 и ПА248-02. В НИР могут быть использованы иностранные сырье, материалы и оборудование, но все это требуется согласовать с Минпромторгом.

----